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精度更高、測量范圍更廣的粗糙度和輪廓測量解決方案。
通過一次測量進行高精度輪廓、波紋度和粗糙度分析。
氣浮式抗振結(jié)構(gòu)系統(tǒng)，可滿足更高精度的測量要求。
自主研發(fā)的氣浮減振結(jié)構(gòu)系統(tǒng)，用于WALE高精度系列測量儀，也可根據(jù)測量要求選配。
更方便的控制單元
控制單元集成了常用的控制命令按鈕，方便操作者快速運動控制操作并節(jié)省測量時間。
快速運動模式，速度可達50mm/s
驅(qū)動單元和立柱模塊均采用高速傳動組件，大大提高了運動速度，提高了測量效率。
配備升級版測量軟件系統(tǒng)
升級版測量軟件系統(tǒng)引入了測量對象的概念，可以對測量對象進行全面的分析。
測量報告可根據(jù)用戶要求定制編輯。
應(yīng)用案例
技術(shù)規(guī)格
| 模型 | 因菲克斯10 | |
| 柱子 | 測量范圍 | 0-620mm可選 |
| 驅(qū)動單元 | 測量范圍 | 0-220mm可選 |
| 指示精度 | ±(0.8+1.5L/100)μm | |
| 直線度 | ≤0.3μm/100mm | |
| 探測器 | 測量范圍 | ±10毫米 |
| Z1軸輪廓指示精度 | ≤±(0.5+|0.08H|)μm | |
| Z1軸粗糙度指示精度 | ≤±(4nm+2.5%) | |
| 重復(fù)性 | 1δ≤1nm | |
| 殘留噪音 | ≤4nm | |
| 手寫筆 | 標準，金剛石5μm/90° | |
| 測量精度 | 弧 | ≤±(1+R/12)μm |
| 弧鉑 | ≤±0.3μm | |
| 角度 | ≤±1′ | |
